潔凈室的幾個基本概念

1．1 潔凈室

潔凈室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留的粒子。室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。

1．2 潔凈區

潔凈區（Clean Zone）是指空氣懸浮粒子濃度受控的限定區間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留的粒子。室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區可以是開放式或封閉式。

1．3 懸浮粒子

懸浮粒子（Airborne Particle）是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性。

1．4 超微粒子

超微粒子是指具有當量直徑小于0.1μm的粒子。

1．5 微粒子

微粒子是指具有當量直徑大于5μm的粒子。

1．6 含塵濃度

含塵濃度是指單位體積中懸浮粒子的顆數。

1．7 潔凈度

潔凈度是指以單位體積中大于或等于某粒徑粒子的數量來區分的潔凈程度